ASML沉闷了！公司掀桌子了！说明媒体报谈，10月13日银河娱乐公司旗下艺人，佳能公司细致推出5纳米芯片压印机，这样的压印机可以坐褥5纳米芯片，改日甚而可以坐褥2纳米芯片，这下ASML遭受大贫苦了。

一、纳米压印机平替EUV光刻机近在目前

这次佳能公司推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造开荒，这样的压印开荒旨趣上跟EUV光刻机不不异，芯片加工经由比ASML的EUV光刻机愈加不详，而且跟着改日掩模时间的检阅，这款压印芯片开荒还可以坐褥2nm芯片。

纳米压印开荒本质电路图案更正，这是最进犯的半导体制造工艺。据佳能先容，传统的光刻开荒通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上，而新址品通过在晶圆上的抗蚀剂上压印有电路图案的掩模来收场这少量，就像邮票不异。由于其电路图案更正经由不经过光学机构，因此可以在晶圆上诚挚地再现掩模上的缜密电路图案。

据先容，佳能的纳米压印光刻时间可收场最小线宽14nm的图案化，相配于坐褥目前发轫进的逻辑半导体所需的5nm节点。此外，跟着掩模时间的进一步检阅，纳米压印光刻有望收场最小线宽为10nm的电路图案，相配于2nm节点。

而且更让ASML沉闷的事情是，这款佳能推出的纳米压印工艺开荒，相干于ASML的光刻机芯片坐褥来说，大概裁减40%的制形资本和90%的电量。

然则目前来说，ASML可能还有喘气之机，佳能这款芯片坐褥开荒产量低，而且目前还在完善工艺，预测2025年量产，这样一来，ASML可能还有一两年时辰好快卖EUV光刻机了，要是目前还不卖，到佳能芯片坐褥开荒浩荡坐褥的时候，ASML公司的EUV可能就卖不动了。

天然了，关于我国来说，ASML的EUV不卖，意象佳能这款开荒卖的可能性也不大，我国目前如故要依靠自主立异，依靠我方搞出来先进制程EUV光刻机，或者是光刻厂，这样在改日才不会被别东谈主应答卡住脖子了。而这样一来，目前佳能5纳米芯片压印坐褥开荒出来，皇冠新网址就够让ASML痛苦了，要是改日我国光刻机也打破了，那么ASML意象就更卖不出去了，那可能就愈加欲哭无泪了。

二、纳米压印时间国外上的本色应用

目前，纳米压印时间依然在本色芯片制造中进讹诈用。

近日音问称，韩国的SK海力士从佳能引进了纳米压印开荒，筹备在2025年前后，开动量产3D NAND闪存，并在测试适度很好。

“与EUV比较，纳米压印时间形成图案的解放度较低，因此预测将优先用于坐褥保管一定图案的NAND型闪存。”SK海力士开动采购开荒亦然因为这个原因。要是纳米压印开荒收场商用化，以SK海力士为首的NAND闪存企业将大概进步从200层开动的工序难度越来越高的3D NAND闪存界限的坐褥效果。

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据称佳能纳米压印开荒的时间运筹帷幄可以，套刻精度达到了2.4nm/3.2nm，每小时可制造100片以上晶圆，基本达到了3D NAND大范围坐褥的水平。

三、纳米压印时间国产发扬情况

纳米压印时间一直是国产芯片开荒企业追踪的热点时间之一，在此界限，目前主要有两大公司值得止境包涵：苏大维格和天仁微纳。

近日，苏大维格公开示意：纳米压印光刻界限，公司开荒主要为私用，对外售售金额与直写光刻机比较较小。公司已包涵到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造界限具备替代传统光刻的应用后劲，并在积极布局。

那么，纳米压印时间目前发扬如何呢？苏大维格的夏珍先容：“目前基于纳米压印时间的开荒还没量产，处于量产评价阶段，但从实验室的角度来看，依然收场了10+nm，改日将进一步拓展至5nm。”

另外值得包涵的是深得华为哈勃投资有趣的天仁微纳。

它成就于2015年，是一家微纳加工开荒和科罚决议提供商，公司专注于纳米加工界限，尤其是纳米压印时间。

目前天仁微纳依然研发出了多款高精度紫外纳米压印开荒。据官网辛勤露馅，他们的纳米压印开荒，依然可以在150／300mm基底面积上收场高精度（优于10nm ），也说是说本色精度依然达到了10nm级别。

而目前这些开荒，也用于DOE、AR／VR衍射光波导（包括斜齿光栅）、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用界限的量产。

天然说，目前这种开荒，并没灵验于全球最为熟习的逻辑芯片、存储芯片等，但深信也不太远了。

从苏大维格和天仁微纳来看，目前国产在纳米压印时间上是有一定的时间储备的，并非一派空缺，况且在国外上也算走在前哨了。国产纳米压印时间全面情况，可参看飙叔小文：深度分析！“纳米压印”能否替代传统光刻机，收场弯谈超车？实验室已收场10+nm ！

因此，纳米压印时间的出身为半导体制造界限带来了新的念念路和表率。尽管其仍需进一步探索和推行，但其有望收场对传统光刻时间的替代，进一步鼓励了半导体制造业的立异发展。

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